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| 速度 | |||
| 標(biāo)記速度（1） | 3000mm/s | ||
| 定位速度（1） | 5000mm/s | ||
| 寫入速度（2） | 280cps | ||
| 階躍響應(yīng)時間（全行程1%） | ≤0.1ms | ||
| 階躍響應(yīng)時間（全行程10%） | ≤0.4ms | ||
| 跟蹤誤差 | ≤200us | ||
| 精度及誤差 | |||
| 線性度 | ≥99.9% | ||
| 重復(fù)定位精度 | ＜8μRad/℃ | ||
| 增益誤差 | ＜5mRad | ||
| 零點偏移（批量原點誤差） | ＜5mRad/℃ | ||
| 長時間漂移（連續(xù)工作8小時） | ＜0.8mRad | ||
| 比例漂移 | ＜75PPM/℃ | ||
| 零點漂移 | ＜20μRad/℃ | ||
| 鏡片損傷閾值 | |||
| Si基體 | 10J/cm2 | ||
| 鏡片反射波長（3） | 10600nm / 1064nm / 355nm | ||
| 電源及信號 | |||
| 輸入電壓 | ±15VDC | ||
| 最大平均工作電流 | ＜1.5A | ||
| 信號接口 | 數(shù)字 | XY2-100 | |
| 模擬 | ±5V | ||
| 峰值電流 | 18A | ||
| 位置信號輸入抗阻 | 10KΩ±1% | ||
| 機械掃描角度 | ±11.5° | ||
| 工作電流、溫度、尺寸 | |||
| 工作溫度 | 25±20℃ | ||
| 儲存溫度 | -10℃--60℃ | ||
| 激光輸入孔徑 | 10-12mm | ||
| 振鏡尺寸（長*寬*高） | 122*96.5*101.0mm | ||
| 振鏡重量 | ≈1.8kg | ||
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